Das Fachbuch "Growth of High Permittivity Dielectrics by High Pressure Sputtering from Metallic Targets" von María Ángela Pampillón Arce bietet eine umfassende Untersuchung der Herstellung von Metall-Isolator-Halbleiter-Strukturen (MIS) unter Verwendung von Dielektrika mit sehr hoher Permittivität, die auf seltenen Erden basieren. Die Arbeit beschreibt die innovative Methode der Hochdrucksputterung von metallischen Zielen, um Materialien wie GdScO3 auf Silizium- und Indiumphosphat-Substraten abzulegen. Ein zentrales Merkmal dieser Technik ist der hohe Arbeitsdruck, der es den Partikeln ermöglicht, vor dem Erreichen des Substrats mehrfach zu kollidieren und sich zu thermalisieren, was die Halbleiteroberfläche vor Beschädigungen schützt. Die Autorin präsentiert einen einzigartigen Herstellungsprozess, der eine zweistufige Abscheidung umfasst, bei der zunächst ein dünner Metallfilm in einer Argon-Atmosphäre gesputtert und anschliessend in situ plasmaoxidiert wird. Die Ergebnisse zeigen, dass die elektrischen Eigenschaften der hergestellten Geräte vielversprechend für die mikroelektronische Integration sind.
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Das Buch "Deponi Gazi Belirlemede Metot Seçimi ve Potansiyel Gaz Hesaplanmasi" von Ali Kemal Çakir bietet eine umfassende Analyse der Entstehung von Deponiegas in städtischen Abfallentsorgungsanlagen. Es untersucht die Bedingungen, unter denen städtische feste Abfälle, einschliesslich Haushalts-, Industrie- und medizinischer Abfälle sowie Klärschlamm, regelmässig gelagert werden. Der Fokus liegt auf der Ermittlung des Methangases, das als entscheidender Faktor für das Energiepotenzial von Deponien gilt. Das Buch beschreibt verschiedene Methoden zur Bestimmung der Gasmenge und bietet einen Überblick über die Möglichkeiten zur Entsorgung und Nutzung des erzeugten Deponiegases. Die theoretischen Potenziale für Methangas in voll funktionsfähigen Deponien werden ebenfalls behandelt, wobei die Variabilität der Ergebnisse auf die unterschiedlichen Eigenschaften der Abfälle und die spezifischen Bedingungen der Deponiestandorte hinweist.
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Das Fachbuch "Fundamental study: Space-temporal evolution of laser-induced plasmas" von Mahmoud Dawood bietet eine umfassende Untersuchung der physikalischen Mechanismen, die die Eigenschaften von laserinduzierten Plasmen aus Aluminium beeinflussen. Nach Jahrzehnten der Entwicklung hat sich die Laserablation als bedeutende Technik in verschiedenen Anwendungen etabliert, darunter die Dünnschichtabscheidung, die Synthese von Nanopartikeln, Mikrobearbeitung und chemische Analysen. Diese Studie beleuchtet die Wechselwirkungen zwischen der Dynamik des Plasmaplumens und dem umgebenden Gas, in dem es sich ausdehnt. Durch bildgebende Verfahren und die Analyse der zeitlichen sowie räumlichen Evolution des Plasmas werden wichtige Parameter wie spektrale Intensität, Elektronendichte und Erregungstemperatur in unterschiedlichen Umgebungen untersucht, von Vakuum bis hin zu atmosphärischem Druck und in verschiedenen Gasen wie Argon, Helium und Stickstoff.
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Eine einzelne zweischichtige Probe, bestehend aus einer Monoschicht aus Ni und einer Monoschicht aus Ti mit der Ni-Schicht als Basisschicht, wurde auf einem Siliziumsubstrat abgeschieden. Während der Abscheidung wurde das Substrat mit einer vordefinierten Geschwindigkeit gedreht. Die so abgeschiedenen Schichten wurden dann bei Temperaturen von 300 °C, 400 °C, 500 °C und 600 °C über einen Zeitraum von 1 Stunde in einem Vakuumofen geglüht, um Kristallinität in den so abgeschiedenen Schichten zu erreichen und eine kristalline Einzelschicht zu bilden sowie zur chemischen Homogenität. Die Arbeit befasst sich mit dem Prozess der Herstellung von NiTi-Dünnschicht-Formgedächtnislegierungen und der Charakterisierung ihrer Morphologie sowie den mechanischen Eigenschaften der Dünnschichten wie Härte, reduzierter Elastizitätsmodul, Verschleissrate, Tiefenerholungsrate und superelastischen Eigenschaften. Die Filme wurden in einer DC/RF-Magnetron-Sputteranlage auf einem gründlich gereinigten Si-Substrat hergestellt, das bei einer Temperatur von 300 °C aus zwei 99,99 % reinen 75 mm Ni- und Ti-Targetmaterialien in einer inerten Atmosphäre aus 99,99 % reinem Argon gehalten wurde. Während der Abscheidung wurde das Substrat mit einer vordefinierten Geschwindigkeit gedreht.
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